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詳細(xì)摘要： QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)輕量化設(shè)計(jì)、有效降低高度、減小多軸系統(tǒng)集成情況下的阿貝誤差；提供高定位精度、高速度穩(wěn)定性和納米級(jí)同步跳動(dòng)。產(chǎn)品設(shè)計(jì)滿足晶圓加工及檢測(cè)、輪廓測(cè)量...

詳細(xì)摘要： NOTE系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)具有高定位、速度穩(wěn)定性和同步納米級(jí)跳動(dòng)誤差，可立式或臥式使用，出色的跳動(dòng)誤差滿足晶圓加工及檢測(cè)、超精密加工、輪廓測(cè)量、高精度計(jì)量、光學(xué)檢測(cè)和...

詳細(xì)摘要： NOTE-AB軸系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，高精度的正交性和軸心線重合度、納米級(jí)跳動(dòng)誤差，用于曲面精密加工、曲面測(cè)量等高精度行業(yè)。